Los medidores de vacío de membrana capacitancia SPG5A y SPG6A  usan un sensor de presión con capacitancia de zafiro para lograr un alto nivel de exactitud y fiabilidad, de tamaño compacto y de peso ligero. Modelos de auto calentamiento y no auto calentamiento están disponibles. La seria SPG5A/6A es especialmente adecuado para el uso en la manufactura de semiconductores.